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  1. 此化学抛光工艺设备投资小,抛光液价格低、寿命长,生产成本低。
  2. 本发明公开了一种化学机械抛光液,其含有溶胶型二氧化硅、速率增助剂、表面活性剂和水。
  3. 通过实验发现,该抛光液对各种奥氏体不锈钢的抛光处理在适宜条件下均可得到满意的抛光效果。
  4. 通过实验分析,找到适合不同种类光学玻璃的抛光液类型,以有效提高抛光效率,改善抛光表面质量。