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  5. 针对光刻机工作台精密同步运动的需求,提出了一种适用于多轴精密同步运动控制的并行计算架构。
  6. 荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一,通过不断的技术创新,在全球光刻机市场上居于领先地位。