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【磁控溅射】造句
真空室内的气体等离子体可由热灯丝或射频放电产生,4另外还配置了4个金属等离子体源、两套
磁控溅射
靶和冷却靶台。
用
磁控溅射
低温沉积镀膜技术制做锰铜薄膜,能够保持薄膜中锰、铜、镍成份的相对稳定和锰铜合金正六面三元固溶体金相结构的特性.
也可以单独作为
磁控溅射
或多弧离子镀膜机使用。
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